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项目/Item
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物性/Property
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单位/Unit
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ZKPI-5500L
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ZKPI-5500M
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应用/Application
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正性、应力缓冲、半导体封装
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正性、应力缓冲、半导体封装
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液体性质
Liquid Property |
固含量/Solid Content
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wt.%
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35-37
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37-39
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黏度/Viscosity
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mPa•s/CP
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800-1000
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1400-1600
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离子含量/Impurity Content
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ppm
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<10
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<10
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固化后膜厚/ Film thickness
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um
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1-3
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3-6
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膜性质
Film Property |
拉伸强度 / tensile strength
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MPa
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＞140
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＞140
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Tg/glass transition temperature
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℃
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＞290
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＞290
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断裂伸长率/Elongation at break
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%
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＞15
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＞15
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模量/Modulus
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GPa
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＞3.0
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＞3.0
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热膨胀系数/thermal expansioncoefficient
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ppm/℃
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＜35
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＜35
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介电常数（1MHZ）/dielectric constant
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＜3.2
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＜3.2
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表面电阻（50v）/Surface Resistance
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Ω
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＞1016
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＞1016
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体积电阻率（50v）/Resistivity
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Ω•cm
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＞1016
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＞1016
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吸水率/Water absorption
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%
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＜0.6
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＜0.6
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介电强度/
Dielectric strength
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KV/mm
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25
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25
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产品特点
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1）适用于i线或/和g线；
2）2.38wt%TMAH（四甲基氢氧化铵）作为显影剂；
3）显影后，良好的膜厚保持率（92%以上）；
4）高解析度（膜厚7μm、解析度3μm）；
5）对多种基材和模压材料具有良好的粘附性；
6）良好的耐等离子刻蚀。
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